5英寸旋轉CVD管式爐

爐體結構

• 采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統
• 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，可以zui大程度減小能量損失
• 直流電機帶動石英管轉動，其轉速為0 - 10 RPM
• 爐體可傾斜角度為30°
• 爐體設計為開啟式，以便于操作和對樣品進行快速冷卻

加熱區

• 三個溫區總長度：600mm
• 溫區 1: 150 mm  ( 6")
• 溫區 2: 300mm  ( 12")
• 溫區3: 150 mm ( 6")
• 恒溫區為：450mm@+/-2℃（三個溫區設置同樣的溫度）

• 儀器中包含一根石英管
• 尺寸：130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60 O.D mm （兩端直徑 )
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• 儀器中包含一套不銹鋼真空法蘭（上面已經安裝了不銹鋼針閥）

接頭

• 進氣端接口：Φ6.35的卡套接口
• 出氣端接頭：Φ12的寶塔嘴接頭

工作溫度

• 連續使用溫度：1100℃
• zui高工作溫度：1200℃< 1 h

溫控系統

• 三個溫區采用三個溫控系統獨立控制，都是采用PID方式調節，可以設置30段升降溫程序
• 爐體上安裝有RS485接口，可選購控溫模塊，采用電腦控制爐體升溫

熱電偶

• 三根 Omega K 型鎧裝熱電偶
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真空泵和冷井

• 配有一雙極旋片真空泵，上面安裝有油霧過濾器
• 可以選購冷井，防止實驗中的沉積物損害真空泵
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供氣系統

• 4通道精密氣體控制系統，采用質量流量計，觸摸屏控制，可同時通入1-4種不同氣體
• 注意：如果通入的是易燃易爆型氣體，必須將設備安裝在通風柜中
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zui大功率

4KW

電壓

208 - 240V單相(需要30 A 的空氣開關）

質保

一年質保期，終生維護（不含爐管，密封圈和加熱元件）

質量認證

• CE認證
• 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認證
• 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
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凈重

130kg

應用注意事項

• 此套設備可以配合本公司連續送料裝置來達到連續進料的效果
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警告

• 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
• 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態
• 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）