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            高真空蒸發鍍膜儀--GSL-1800X-ZF4

            簡要描述:GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發鍍膜儀,特別適合蒸鍍一些對氧較敏感的金屬膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個蒸鍍加熱頭.對于實驗研究,這是一款鍍膜效果理想并且性價比較高的實驗設備。

            • 產品型號:
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2021-11-15
            • 訪  問  量:1168
            詳細介紹

             

            技術參數

            操作視頻點擊查看

            電壓

            • 輸入:208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相  ( < 3200W )
            • 輸出: 0 - 8VAC (可調)zui大電流: 400A (可調)
            • zui大功率:4000W(包括真空泵)

            真空腔體

            • 不銹鋼腔體:280mm ID. x 375 mm H,腔體內壁做了電拋光處理
            • 有一個150mm的觀察窗口(采用無氧銅密封圈密封)
            • 一個RF-150法蘭,便于放入樣品。
            • 一個KF-40法蘭,可與真空泵相連接
            • 四個CF-35法蘭,便于安裝真空計、電極和其他用途備用

            真空泵

            (點擊圖片查看詳細資料)

            • 儀器中包括一臺高抽速的渦輪分子泵和前級泵
            • 前級泵抽速:600L/S
            • 真空度:5.0x10-6 torr(泵開啟后40分鐘)
            • 極限真空度:5.0x10-7  torr(烘烤溫度為60-80℃)
            • 漏氣率:5.0x10-7Pa./S

             

            蒸發加熱源 樣品臺

            • 5個水冷電極安裝在腔體底部,可支持4個鎢加熱舟
            • 每個鎢舟上面安裝有可移動的擋板,所以實驗時可以防止各物料之間的污染,樣品臺安裝在真空腔體頂部,直徑為150mm
            • 樣品臺可以旋轉和加熱,旋轉速度0-20rpm,加熱zui高溫度600℃

            • 蒸發源與樣品臺的距離為250mm

            測厚儀

            • 一個高分辨度的薄膜測厚儀安裝在腔體內部
            • 測量精度為:1.0Å

            循環水冷機

            • 儀器使用過程中需要通冷卻水,為了節約用水,強烈建議使用循環水冷機
            • 所需水流量>15L/min

               

            控制單元

            • 真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個控制盒內
            • 控制單元和真空腔體獨立分開,以便于操作

            外形尺寸

            L600mm× W860mm× H1500mm

            凈重

            600kg

            質保

            一年質保期,終生維護

            質量認證

            CE認證

             

            產品咨詢

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