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            近距離蒸發鍍膜 ( CSS)爐

            簡要描述:OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發管式爐,專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11" OD,爐管內載樣盤可放置3" 的圓形或2"x2"的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達20?C/S 。溫控系統為PID30段程序化控制,控溫精度為+/-1?C。儀器面板上帶有RS485接口,若儀表內配有控溫軟件,就可將升溫程序和曲線導出

            • 產品型號:
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2021-11-15
            • 訪  問  量:643
            詳細介紹

            技術參數

            真空腔體

            • 腔體為一高純石英管
            • 尺寸:  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

            真空法蘭

            • 真空法蘭材質為316不銹鋼制作
            • 頂部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
            • 底部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口
            • 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封,通過機械泵其腔體內真空度可達10-2 torr,用分子泵其真空度可達到10-5 torr
            • 兩個法蘭都可以通過手動操作進行上下移動
            • 一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部,可精確測量腔體內真空度

                                      (點擊圖片查看詳細資料)

            混氣系統

            可以選擇兩路的混氣系統于此款管式爐搭配使用(本公司生產多路浮子和多路質子混氣系統)
                          
                   

             

            加熱元件和載樣臺

            • 由兩組IR紅外燈管進行加熱
            • 額定功率800 W     總功率:1600W 
            • 為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果,加熱元件被嵌在水冷機構上
            • 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部
            • 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片(3"Dia x0.5mm Thick ),使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻
            • 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發料 

                 


            熱電偶

             

             

            兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

            溫控系統

            • 兩個控溫系統都為PID30段程序化控溫
            • 可以選購PC控溫軟件,將溫度程序設置和溫度曲線導入電腦中

                                   

            工作溫度

            • 兩個加熱區域單獨工作的zui高溫度:      <= 650ºC
            • 兩個加熱區域zui大溫差:  <= 350 ºC

            加熱和冷卻速率

            • 加熱速率:   > 8 ºC /S
            • 冷卻速率:   > 10  ºC /S  ( 600 - 100oC)

            電源

            208 - 240VAC, 單相(需20A的空氣開關)

            可選配件

             

            本公司出售真空泵和水冷系統

             

                               

            質保期       

            一年質保期  (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 )

            質量認證

              CE 

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